擴(kuò)散硅充油芯體是制造壓力傳感器與變送器的核心芯體，作為一種高性能的敏感元件，可以很方便地進(jìn)行信號(hào)放大處理，裝配成標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)輸出的變送器，廣泛地用于石油、化工、冶金、電力、電子系統(tǒng)、航天航空、醫(yī)療、化工、汽車(chē)、機(jī)電設(shè)備等行業(yè)的過(guò)程控制。
它是將擴(kuò)散硅壓力敏感元件封裝于316L的材料中，外加壓力通過(guò)不銹鋼膜片、內(nèi)部密封的硅油傳遞到敏感的芯片上，敏感元件不直接接觸被測(cè)介質(zhì)，形成壓力測(cè)量的全固態(tài)結(jié)構(gòu)，所以適用于各種環(huán)境，包括惡劣的腐蝕介質(zhì)環(huán)境。
擴(kuò)散硅充油芯體的技術(shù)特點(diǎn)：
1、靈敏度高：
擴(kuò)散硅敏感電阻的靈敏因子比金屬應(yīng)變片高50?80倍，它的滿(mǎn)量程信號(hào)輸出在80-100mv左右。對(duì)接口電路適配性好，應(yīng)用成本相應(yīng)較低。由于它輸入激勵(lì)電壓低，輸出信號(hào)大，且無(wú)機(jī)械動(dòng)件損耗，因而分辨率較高。
2、精度高：
擴(kuò)散硅充油芯體的感受、敏感轉(zhuǎn)換和檢測(cè)三位一體，無(wú)機(jī)械動(dòng)件連接轉(zhuǎn)換環(huán)節(jié)，所以重復(fù)性和遲滯誤差很小。由于硅材料的剛性好，形變小，因而傳感器的線(xiàn)性也非常好，因此綜合表態(tài)精度很高。
3、可靠性高：
擴(kuò)散硅敏感膜片的彈性形變量在微應(yīng)變數(shù)量級(jí)，膜片最大位移量在來(lái)微米數(shù)量級(jí)，且無(wú)機(jī)械磨損、無(wú)疲勞、無(wú)老化。性能穩(wěn)定，可靠性高。
4、頻響高：
由于敏感膜片硅材料的本身固有頻率高，一般在50KC。制造過(guò)程采用了集成工藝，膜片的有效面積可以很小，配以剛性結(jié)構(gòu)前置安裝特殊設(shè)計(jì)，使傳感器頻率響應(yīng)很高，使用帶寬可達(dá)零頻至100千赫茲。
5、溫度性能好：
隨著集成工藝技術(shù)進(jìn)步，擴(kuò)散硅敏感膜的四個(gè)電阻一致性得到進(jìn)一步提高，原始的手工補(bǔ)償已被激光調(diào)阻、 計(jì)算機(jī)自動(dòng)修整技術(shù)所替代，傳感器的零位和靈敏度溫度系數(shù)已達(dá)10-5/°C數(shù)量級(jí)，工作溫度也大幅度提高。
6、抗電擊穿性能好：
由于采用了特殊材料和裝配工藝，擴(kuò)散硅充油芯體不但可以做到130℃正常使用，在強(qiáng)磁場(chǎng)、高電壓擊穿試驗(yàn)中可抗擊1500V/AC電壓的沖擊。
